設備設置-CNC氣浮式雙功能三次元量測儀 By it2018 年 5 月 19 日2019 年 9 月 23 日新進設備 CNC氣浮式雙功能三次元量測儀精度U1=1.5+L/200 um ; U3=3+L/200 um 量測行程700x700x500 mm ( X,Y,Z )三次元MCP測頭,含影像精準測量